半導体関連
半導体関連
マスクレスリソグラフィー
マルチスペクトル構成が利用可能です。異なる波長の組み合わせにより、あらゆる種類のUV処理材料の露光のスペクトルバランスが最適化されます。
LEDダイレクトイメージング
LumiDL™システムは、最大18素子のUV-LEDアレイを使用し、ダイレクトイメージングシステムでの正確な露出制御のために独立して駆動および変調できます。液体冷却により、UV-LEDアレイを非常に高い電流密度で動作させることができます。
半導体ウェハの検査・計測
LumiSpectra™は、高出力で均一性があり、最大12の波長を選択可能です。安定した光パワーが重要な場合に最適です。